Основан монастырь в середине XVI века княгиней Ефросиньей Старицкой, вдовой удельного князя Андрея Старицкого, родного дяди царя Иоанна Грозного.
К тому времени в Кириллове уже действовал монастырь, а в Горицах существовала деревянная Воскресенская оброчная церковь и Введенская ружная церковь. Княгиня Евфросиния заменила деревянную Воскресенскую церковь каменной, с приделом преподобного Кирилла Белозерского Чудотворца в 1544 году, именно эту дату и принято считать годом основания монастыря. Тогда же была построена новая тёплая церковь во имя Божией Матери Одигитрии с трапезной. В 1611 году инокиня Марфа построила над Воскресенским собором квадратную колокольню с четырьмя просветами для колоколов.
Так же на территории монастыря в 1821 году при игуменье Маврикии Ходневой с восточной стороны Воскресенской церкви, на месте погребения княгини инокини Евдокии и Александры, вместо деревянной часовни был построен каменный трёхпрестольный тёплый храм в честь святой Троицы.
Ещё на территории монастыря в 1832 году на средства княжны Хованской, в схиме Параскевы, построена каменная, тёплая, двухэтажная Покровская церковь. Она находится в ограде с восточной стороны монастыря.
За пределами монастырских стен в1905 году, при игуменье Адриане, были построены монастырская пристань и каменная часовня в честь Иоанна Предтечи, напротив северо-западного угла монастыря. Также за пределами монастыря располагались деревянные хозяйственные помещения, скотные дворы, кладовые и т. д.
